Başqa biri, piroliz metodu, quru metod və ya yanma metodu kimi tanınan, kimyəvi buxarlanma (Cav) metodu, kimyəvi buxar çöküntüsü (CAV) metodudur. Xammalları ümumiyyətlə silikon tetraxlorid, oksigen (və ya hava) və yüksək temperaturda reaksiya verən hidrogendir.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Sio 2+4 hcl. Hava və hidrogen müvafiq olaraq təzyiqləndirmə, ayrılma, soyutma və susuzlaşdırma, silikon gel qurutma, toz sökülmə və sintetik hidroliz sobasına göndərilmədən əvvəl toz çıxarılması və filtrasiyasına məruz qalır. Silikon tetrachloridin xammalı distillə üçün distillə sütunununa göndərilir, buxarlandırıcıda qızdırılır və buxarlandırıcıdır, sonra daşıyıcı kimi quru və süzülmüş hava ilə sintetik hidroliz sobasına göndərilir. Silikon tetrachloride yüksək temperaturda (alov temperaturu 1000 -} 1800 dərəcə) buxarlanır və sonra təxminən 1800 dərəcədə müəyyən miqdarda hidrogen və oksigen (və ya hava) olan bir faza hidrolizi keçir. Bu nöqtədə, qaz fazası silisium hissəcikləri son dərəcə yaxşı və tutmaq çətin olan qazlarla aerozollar təşkil edir.
Buna görə, onlar əvvəlcə bir məcmudə daha böyük hissəciklərə birləşir, sonra bir siklon separatoru tərəfindən toplanmış və bir deacidifikasiya sobasına göndərilir. Qaz - faza silisium, pH dəyəri 4 ilə 6-a qədər havanı olan azot - ilə yuyulur, bu da hazır məhsuldur